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DBC陶瓷敷铜板烧结炉的介绍
作者:小编 发布时间:2021-04-08 15:16:54 点击量:
DBC烧结炉专业用于陶瓷基座然后,一般包含16个温区,,具体的配置有以下几个方面,一般的话用于产生环境系统,下面就跟随合肥泰络电子装备有限公司的小编来看一下,具体有哪些工艺。
DBC工艺
DBC基板的制造是使用一种特别的热熔式粘合方法,DBC烧结炉一块已有一层薄氧化铜(氧化于热处理时或之前)的铜片与Al2O3陶瓷密贴并于1065℃至1085℃的温度下受热 (图1和图2)。
图1 氧和氧化铜的共晶
DBC烧结炉共晶熔化体与陶瓷结合而铜片则仍然是固态。Al2O3陶瓷的卓越湿性是基于以下反应:CuO + Al2O3 = Cu Al2O4
以下的特性,使DBC能取代用于多芯片功率模块的传统物料。
- 尽管铜层相当厚(0.3mm),热膨胀系数仍然很低(7.2×10-6);
- 铜具高抗剥强度 (>50N/cm);
- 由于厚铜片的高效率散热和铜直接接合于陶瓷,基板的热阻非常低;
- 高机械和环境稳定性。
主要用于陶瓷覆铜箔在N2或N2、O2混合气氛条件下的高温氧化、烧结等高温热处理等,具体说明如下:
1额定温度:1100℃;更高温度:1150℃
2有效高度:80mm
3网带宽度:200mm
4网带材质:SUS314
5更大负载:50Kg/m2(不含网带自重)
6炉膛结构:采用大炉腔结构和厚10mm SUS310S马弗炉管结构
7传动系统:大包角摩擦传动
8调速范围:25~150mm/min,变频无级调速
9加热元件:陶瓷棒外绕高温合金丝(进口KANTHAL加热丝)
10烧结气氛:氮气+氧气
11气路组成:12路氮气,1路氧气,每路流量可调节(详见3.2技术说明)
12氧含量检测点:预热区、高温区1、高温区2、冷却区、混配出气口共五点不锈钢检测管路并联连接到氧分析仪,通过电磁阀来选择切换点,可实时检测炉内氧含量,方便调节与选择进气量大小
13氧含量(配氧分析仪表在线分析氧含量):
预热区≤15ppm+气源氧含量
高温区1≤10ppm+气源氧含量
高温区2≤10ppm+气源氧含量
冷却区≤15ppm+气源氧含量
(注:需保证氮气气源纯度99.999%)
14排气系统:进、出口过渡套各设置1个排气管(详见3.2技术说明)
15冷却方式:采用气冷和水冷相组合的方式冷却,冷却水套1点水温检测
16网带清洗方式:毛刷清洗
17结构划分:(详见3.1技术说明)
18控温稳定度:±1℃
19炉膛温度均匀度:±2℃(恒温区1100℃)
20升温速率:≤1.5℃/min
21温区个数:8个
22控温点数:8点
23热偶:K分度,美国瓦特龙
24报警指示:超温、变频器报警、断偶、低气压、低水压声光报警
25停电保护:加装手动摇出装置
26停带保护:进出口端板各设1个急停按键
27氮气工作压力:0.3~0.5Mpa
28氮气耗量:约12~15m3/h(立方米每小时)
29氧气工作压力:0.1~0.2Mpa
30氧气耗量:约1~3L/h(升每小时)
31气体混配装置:含进出口压力检测及缓冲阀
32冷却水耗量:约1~2m3/h(立方米每小时)
33冷却水工作压力:0.15~0.25MPa,进水温度小于30℃
34表面温升:<50℃
35出料温度:≤60℃
36加热功率:64kW
37空炉保温功率:≤25kW
38电源:容量大于85 KVA,3相5线,220/380VAC,50Hz
39重量:约1800Kg
40外形尺寸:9350×1200×1450mm(L×W×H),不含(烟囱、指示灯)
上面这些就是DBC烧结炉的作用和用途,他广泛用于工业行业,上面这些知识大家都了解了吗?不了解的话随时可以联系我们合肥泰络电子装备有限公司。